变送器的发展将有以下几大方向:
MEMS工艺和微变送器 :在硅平面工艺基础上发展起来的一种通用的精密三维加工技术,是研究变送器、微执行器、微机械系统的MEMS工艺较好的素材。
MEMS技术在国外的发展已经有30年的历史。应用MEMS工艺,不仅可以制造简单的三维微结构,而且可以做成三维运动结构和复杂的力平衡结构,使现代变送器技术从单一的物性型进入以微电子和微机械集成技术为主导的发展阶段。微机电变送器的优良性能和好的性价比,将取代传统的变送器而占有较大的市场份额。
集成工艺和集成变送器:采用混合集成工艺,将微变送器、微驱动器、微执行器以及信号处理器和控制电路、接口、通讯和电源等组成一体化系统。
集成工艺的进一步发展,可以使硅微变送器和微电子系统以及微执行器制造在一个芯片上形成单片集成,构成一个闭环工作系统,这不仅是传感技术概念的扩展和引申,还会在工业过程控制、航空航天、生物医学等方面发挥作用。
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